测量精度首先取决于接触质量。高度可精准重复的 (1 um精度) 针座台设计与三个独立的档位划分：接触（0μm）、分离 (300 um) 和载片 (3 um) 与安全锁设计是目前市面上绝无仅有的功能。这些功能防止意外损坏探针或晶圆, 同时提供直观的控制和准确的接触定位,这种能力在高频和大功率应用中尤其重要, 以达到最准确的测量结果。

对于 TS200 和 TS300,还可以额外提供带有悬停高度 (50,100 或 150 um)的装置, 可轻松方便地使探针与待测样品电极对齐。

针座台有25mm 的精细高度调整, 可以应对各种应用。

1mm 精确刻度给出了探针离开样品的直接位置反馈。